Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorМачулянський, Олександр Вікторович
dc.contributor.authorБондаренко, Максим Олександрович
dc.date.accessioned2020-01-10T08:45:17Z
dc.date.available2020-01-10T08:45:17Z
dc.date.issued2019-12
dc.description.abstractenThe total volume of the work is 74 pages, 22 figures,28 tables and 22 bibliographic titles. The relevance of the topic is related to the quite active research in this area, even considering that there is already a large amount of research in this area. This is due to the fact that scientists are trying to improve the process of applying dielectric films to obtain the most effective parameters for the respective areas of use. In this work the main emphasis is on the protective properties and stability of the films. The purpose of the work is to obtain dielectric films for IR photodetectors, which should have good protective properties, a good bandwidth and most importantly - stability in the operating range of the spectrum. Various methods of applying dielectric films, the technological route of forming dielectric films on InSb plates, the equipment by which the processes of film formation are performed, are considered. Due to the analysis of different methods of forming dielectric films, the most effective method for achieving the goal, namely the method of chemical gas-phase deposition, was found. Further, the advantages and disadvantages of using this particular method of forming dielectric films were discussed, and examples of finished samples and their characteristics are given. In order to achieve this goal, experimental studies were conducted on the application of dielectric films in different conditions, their analysis using IR spectroscopy, and found the optimum mode of application of films, to obtain a good result. The practical significance of this work is to study the films obtained and to obtain qualitative characteristics for their further use through the data obtained.uk
dc.description.abstractukЗагальний обсяг роботи складає 74 сторінок, 22 рисунка, 28 таблиць та 22 бібліографічних найменування. Актуальність теми пов’язана із досить активними дослідженнями у даній області, навіть з урахуванням того, що вже наявні досить велика кількість досліджень саме в цій області. Відбувається це із-за того, що вчені намагаються вдосконалити процес нанесення діелектричних плівок для отримання максимально ефективних параметрах для відповідних областей використання. В даній роботі основний акцент зроблений на захисних властивостях та стабільності плівок. Метою роботи є отримання діелектричних плівок для ІЧ фотодетекторів, які повинні володіти гарними захисними властивостями, гарною полосою пропускання та саме головне – стабільністю в робочому діапазоні спектру. Розглянуті різні методи нанесення діелектричних плівок, технологічний маршрут формування діелектричних плівок на пластинах InSb, обладнання за допомогою якого виконуються процеси формування плівок. За рахунок аналізу різних методів формування діелектричних плівок, знайдено найбільш ефективний метод для виконання поставленої цілі, а саме метод хімічного газофазного осадження. Далі були розглянуті переваги та недоліки використання саме цього методу формування діелектричних плівок та приведені приклади готових зразків та їх характеристик. Для досягнення поставленної мети в роботі проводилися експериментальні дослідження з нанесення діелектричних плівок в різних умовах, їх аналіз за допомогою методів ІЧ-спектроскопії, та знаходився максимально оптимальний режим нанесення плівок, для отримання гарного результату. Практичне значення даної роботи полягає в дослідженні отриманих плівок та отриманні якісних характеристики для їх подальшого використання завдяки отриманим даним.uk
dc.format.page75 с.uk
dc.identifier.citationБондаренко, М. О. Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням : магістерська дис. : 153 Мікро - та наносистемна техніка / Бондаренко Максим Олександрович. – Київ, 2019. – 75 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/30670
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectІЧ фотодетекторuk
dc.subjectфотодіодuk
dc.subjectантимонід індіюuk
dc.subjectдіелектричні плівкиuk
dc.subjectхімічне газофазне осадженняuk
dc.subjectспектрuk
dc.subjectспектральна характеристикаuk
dc.titleДіелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженнямuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Bondarenko_magistr.pdf
Розмір:
2.04 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.86 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи