Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням
Вантажиться...
Дата
2019-12
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
ІЧ фотодетектор, фотодіод, антимонід індію, діелектричні плівки, хімічне газофазне осадження, спектр, спектральна характеристика
Бібліографічний опис
Бондаренко, М. О. Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням : магістерська дис. : 153 Мікро - та наносистемна техніка / Бондаренко Максим Олександрович. – Київ, 2019. – 75 с.