Відносна чутливість дефектоскопічного контролю напівпровідникових матеріалів
dc.contributor.author | Слободян, Ніна Вячеславівна | |
dc.date.accessioned | 2023-10-31T11:32:37Z | |
dc.date.available | 2023-10-31T11:32:37Z | |
dc.date.issued | 2004 | |
dc.description.abstract | Розраховані залежності відношення сигнал/шум та перепаду щільності потоку рентгенівських квантів, спричинені дефектом структури однорідного зразка напівпровідникового матеріалу (кремнію), від параметрів рентгенівського апарату, товщини зразка та відносного розміру дефекту. Виявлено особливості поведінки згаданих залежностей при малих товщинах зразків та запропоновано рекомендації щодо покращення характеристик систем рентгенівської дефектоскопії стосовно матеріалів електронної техніки. | uk |
dc.description.abstractother | Signal to noise ratio and jump of density of the whole flow of x-ray quanta due to structure defect in the homogenous silicon sample are calculated in dependence on x-ray apparatus parameters, sample thickness and relative defect size. The peculiarities of such dependences for small thickness of the samples are clarified and recommendations for optimization of characteristics of x-ray system for non-destructive testing in application to electronic technique materials are given. | uk |
dc.format.pagerange | С. 96-99 | uk |
dc.identifier.citation | Слободян, Н. В. Відносна чутливість дефектоскопічного контролю напівпровідникових матеріалів / Н. В. Слободян // Электроника и связь. – 2004. – №22. – С. 96-99 | uk |
dc.identifier.orcid | 0000-0002-1515-1050 | uk |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/61920 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | НТУУ «КПІ» | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.relation.ispartof | Электроника и связь, 2004, №22 | uk |
dc.subject | X-ray television system | uk |
dc.subject | non-destructive testing | uk |
dc.subject | simulation | uk |
dc.subject | X-ray vidicon | uk |
dc.subject | CCD-matrix | uk |
dc.subject | semiconductor materials | uk |
dc.subject | рентгенотелевізійна система | uk |
dc.subject | неруйнівний контроль | uk |
dc.subject | моделювання | uk |
dc.subject | рентгеновідикон | uk |
dc.subject | ПЗЗ-матриця | uk |
dc.subject | напівпровідникові матеріали | uk |
dc.subject.udc | 623.397.13 | uk |
dc.title | Відносна чутливість дефектоскопічного контролю напівпровідникових матеріалів | uk |
dc.title.alternative | Relative sensitivity of defectoscopic control of semiconductor materials | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- P.96-99.pdf
- Розмір:
- 5.13 MB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
- .
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: