Процеси фазоутворення в нанорозмірних шарах Ta/Ni при відпалі у вакуумі

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorКотенко, Ігор Євгенійович
dc.contributor.authorШкамарда, Марія Василівна
dc.date.accessioned2018-06-22T13:39:16Z
dc.date.available2018-06-22T13:39:16Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenAn analysis of literature data analysis concerning phase transformations in the Ta/Ni system, particularly in nanoscaled layer, is provided; the most informative and accessible methods for analysis of the microstructure phase composition and electrophysical properties of the Ta/Ni system in the nanoscaled state are determined; the depth distribution of the Ta/Ni structure compounds during the process of the vacuum-thermal evaporation and compounds condensation on the sital substrate is simulated; the samples of Ta/Ni layers were condensed in vacuum and the phase and structure composition were studied at various annealing temperature; the depth profiling of the system before and under annealing were determined by the SIMS method; electro physical parameters of the investigated system before and under vacuum annealing are determined; the start-up project concerning Ta/Ni thin-film capacitors has been developed; the analysis of harmful and dangerous factors was provided. Basing on the results of the accomplished research, conclusions can be drawn.uk
dc.description.abstractukПроведено аналіз літературних даних, що стосуються фазових перетворень в системі Ta/Ni, зокрема в наношаровому стані; визначено найбільш інформативні та доступні методики для аналізу фазового складу мікроструктури та електрофізичних властивостей системи Ta/Ni в наношаровому стані; змодельовано пошаровий розподіл компонентів структури Ta/Ni при вакуумно-термічному випаровуванні компонентів та їх конденсації на ситалову підкладинку; виготовлено зразки сконденсованих у вакуумі шарів системи Ta/Ni та проведено дослідження фазового складу та структури при різних температурах відпалу у вакуумі; методом ВІМС визначено пошаровий розподіл компонентів системи до та після відпалу; розроблено стартап-проект «Тонкоплівкові конденсатори на основі Ta/Ni»; було проведено аналіз шкідливих та небезпечних факторів праці. На основі результатів виконаних досліджень зроблено висновки.uk
dc.format.page107 с.uk
dc.identifier.citationШкамарда, М. В. Процеси фазоутворення в нанорозмірних шарах Ta/Ni при відпалі у вакуумі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Шкамарда Марія Василівна. – Київ, 2018. – 107 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/23591
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectнанорозмірні плівкові композиціїuk
dc.subjectдослідженняuk
dc.subjectтанталuk
dc.subjectнікельuk
dc.subjectструктурно-фазові перетворенняuk
dc.subjectвисокі температуриuk
dc.subjectаморфні фазиuk
dc.subjectдифузіяuk
dc.subjectтермічне випаровуванняuk
dc.subjectNano-Scaled Film Compositionsuk
dc.subjectStudiesuk
dc.subjectTantalumuk
dc.subjectNickeluk
dc.subjectStructu Ral-Phase Transitionsuk
dc.subjectHigh Temperaturesuk
dc.subjectAmorphic Phaseuk
dc.subjectDiffusionuk
dc.subjectThermal Evaporationuk
dc.titleПроцеси фазоутворення в нанорозмірних шарах Ta/Ni при відпалі у вакууміuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Shkamarda_magistr.pdf
Розмір:
2.94 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (ФМ ІФФ)
Магістерські роботи