Сенсор газу на основі поверхневого плазмонного резонансу
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Дипломна робота виконана на 53 сторінках, вони містять 4 розділи, 23 ілюстрацій, 12 таблиць та 55 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є сенсор газу на основі поверхневого плазмонного резонансу. Предметом дослідження є залежність оптичних параметрів ППР сенсорів газу від їх конструктивних параметрів.
Метою роботи є визначення параметрів сенсорних елементів на основі поверхневого плазмонного резонансу залежно від їх конструктивних складових.
Для досягнення поставленої мети в роботі вирішувались наступні завдання:
- встановити залежності параметрів сенсорного елемента від товщини чутливої плівки (Au);
- проаналізувати вплив додавання захисних шарів діелектрика (SiO2 і TiO2) за їх різних товщин;
- знайти робочий спектральний діапазон електромагнітного випромінювання сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу.
В першому розділі розглянуто особливості, ключові переваги та недоліки ППР. У другому розділі розглянуто теоретичні основи, необхідні для моделювання сенсорного елемента. В третьому та четвертому розділі за допомогою програмного забезпечення промодельовано сенсорний елемент із використанням діоксиду кремнію і діоксиду титану відповідно. Визначено їх параметри і проведено порівняння із сучасними сенсорами газу на основі ППР.
Дані дослідження можуть використовуватись для розробки ППР сенсорів із заданими наперед оптичними параметрами; для вивчення роботи даних сенсорів.
Опис
Ключові слова
поверхневий плазмонний резонанс, сенсорний елемент, діоксид кремнію, діоксид титану, багатошарова сенсорна структура, surface plasmon resonance, titanium dioxide, silicone dioxide, multilayer sensor element
Бібліографічний опис
Панчук, А. В. Сенсор газу на основі поверхневого плазмонного резонансу : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Панчук Андрій Валентинович. – Київ, 2023. – 67 с.