Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6 нм)/Siеп/Si(001) при відпалах

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorМакогон, Юрій Миколайович
dc.contributor.authorЯцун, Віталій Ігорович
dc.date.accessioned2020-01-23T09:49:58Z
dc.date.available2020-01-23T09:49:58Z
dc.date.issued2019-12
dc.description.abstractenMaster’s thesis: 92 pages, 17 tables, 35 figures, 44 references Object of study – phase and structural transformations and thermal stability of nanoscale Ni/Pt(6 nm)/Siep/Si (001) film compositions. The purpose of the study is to study the phase composition and thermal stability in nanoscale Ni/Pt(6 nm)/Siep/Si (001) film compositions under vacuum and nitrogen annealing. The purpose of research: investigate and describe structural and phase transformations in Pt Ni/Pt(6 nm)/Siep/Si (001) nanoscale film compositions. The research methods: x-ray analysis secondary neutral mass spectrometry, resistometry, calculation of thermal stresses and Gibbs phase energy. Research results and novelty: it is found that the addition of platinum reduces the level of compressive mechanical stresses in the nickel film, which leads to an increase in the temperature of the formation of nickel monosilicide during further annealing in vacuum and nitrogen. The formation of a triple compound upon annealing in vacuum occurs at a higher temperature (970 K) at when annealing in nitrogen. During annealing in vacuum, the silicide Ni(Pt)Si remains stable to a temperature of 1170 K, which is 50 K higher than the annealing in nitrogen and 100 K higher than in the Ni(30 nm)/Si(001) film composition. This is confirmed by low values of electrical resistance.uk
dc.description.abstractukМагістерська дисертація: 92 с., 17 табл., 35 рис., 44 джерел Обʼєкт дослідження – фазові та структурні перетворення та термічна стабільність нанорозмірних плівкових композицій Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001). Предмет дослідження – процеси структурно-фазових перетворень та упорядкування у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001). Мета дослідження – дослідження фазового складу та термічної стабільності моносиліциду NiSi у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах у вакуумі та азоті. Методи дослідження – рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних нейтралей, резистометрія, просвічуюча електронна мікроскопія поперечних перерізів, розрахунок термічних напружень і енергії фаз Гібса. Результати дослідження та їх новизна: встановлено, що додавання платини зменшує рівень стискаючих механічних напружень у плівці нікелю, що призводить до підвищення температури формування моносиліциду нікелю при подальших відпалах у вакуумі та азоті. Формування потрійної сполуки при відпалі у вакуумі відбувається при вищій температурі (870 К), ніж при відпалі в азоті. Силіцид Ni(Pt)Si залишається стабільним до температури 1170 К, що на 50 К вище, ніж при відпалі в азоті та на 100 К вище, ніж в плівковій композиції Ni(30нм)/Si(001). Це підтверджується низькими значеннями електроопору.uk
dc.format.pagerange92 с.uk
dc.identifier.citationЯцун, В. І. Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Яцун Віталій Ігорович. – Київ, 2019. – 92 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/31051
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectмоносіліцид нікелюuk
dc.subjectнанорозмірні плівкові композиціїuk
dc.subjectструктурно-фазові перетворенняuk
dc.subjectнікельuk
dc.subjectплатинаuk
dc.subjectnickel monosilicideen
dc.subjectnanosize filmsen
dc.subjectphase and structure transformationsen
dc.subjectnickelen
dc.subjectplatinumen
dc.titleТермічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6 нм)/Siеп/Si(001) при відпалахuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Yatsun_mahistr.pdf
Розмір:
2.4 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (ФМ ІФФ)
Магістерські роботи