Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6 нм)/Siеп/Si(001) при відпалах
Вантажиться...
Дата
2019-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
моносіліцид нікелю, нанорозмірні плівкові композиції, структурно-фазові перетворення, нікель, платина, nickel monosilicide, nanosize films, phase and structure transformations, nickel, platinum
Бібліографічний опис
Яцун, В. І. Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Яцун Віталій Ігорович. – Київ, 2019. – 92 с.