Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001)

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПавлова, Олена Петрівна
dc.date.accessioned2020-08-28T10:04:37Z
dc.date.available2020-08-28T10:04:37Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractenThis paper studies the influence of basic parameters of production of Ta(100-540 nm)/Si(001)thin film compositions, such as substrate temperature during Ta film deposition, Ta film thickness and further thermal treatment parameters at temperature range of 570–1070 K on the magnitude and sign of mechanical stresses. Moreover, the possible mechanisms of stresses emergence in the thin film compositions are highlighted.uk
dc.description.abstractruИзучено влияние основных параметров получения тонкопленочных композиций Та(100–540 нм)/ Si(001) – температуры подложки при осаждении пленки Та, толщины осажденной пленки Та, а также параметров их последующей термообработки в интервале температур 570–1070 К на величину и знак возникающих механических напряжений. Описаны возможные механизмы возникновения напряжений в исследованных пленочных композициях.uk
dc.description.abstractukВивчено вплив основних параметрів отримання тонкоплівкових композицій Та(100 – 540 нм)/Si(001) – температури підкладки під час осадження плівки Та, товщини осадженої плівки Та, а також параметрів їх подальшої термообробки в інтервалі температур 570 – 1070 К на величину і знак механічних напружень. Дано опис можливих механізмів виникнення напружень у досліджених плівкових композиціях.uk
dc.format.pagerangeС. 73-77uk
dc.identifier.citationПавлова, О. П. Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001) / О. П. Павлова // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 5(61). – С. 73–77. – Бібліогр.: 16 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/35880
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceНаукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал, 2008, № 5(61)uk
dc.subject.udc539.216.2:661.685uk
dc.titleДослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001)uk
dc.title.alternativeThe investigation of mechanical stresses in Ta(100–540 nm) film/Si(001) single crystal thin film compositionsuk
dc.title.alternativeИсследование механических напряжений в тонкопленочных композициях пленка Ta(100–540 нм)/монокристалл Si(001)uk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2008-5-10.pdf
Розмір:
239.56 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 5(61)