Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001)
Вантажиться...
Дата
2008
Автори
Павлова, Олена Петрівна
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Павлова, О. П. Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001) / О. П. Павлова // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 5(61). – С. 73–77. – Бібліогр.: 16 назв.