Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЮшко, А. В.
dc.contributor.authorЗенкін, М. А.
dc.contributor.authorYushko, A. V.
dc.contributor.authorZenkin, M. A.
dc.date.accessioned2013-11-16T08:18:14Z
dc.date.available2013-11-16T08:18:14Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractenA description of the laser ellipsometrical microscope LEM-3 for control the thickness of thin films was pursued. It is rotined that the elipsometrical methods of control allow to measure thickness and coefficients of refraction of transparent dielectric thin-films in the range of thickness from 0,3 nm to 1500 nm (0,0003-1,5 mkm) with the error of measuring ±0,3 nm.uk
dc.description.abstractruПроведено описание работы лазерного эллипсометрического микроскопа ЛЭМ-3 для контроля толщины тонких пленок. Показано, что эллипсометрические методы контроля позволяют измерять толщины и коэффициенты преломления тонких прозрачных диэлектрических пленок в диапазоне толщин от 0,3 нм до 1500 нм (0,0003-1,5 мкм) с погрешностью измерения ±0,3 нм.uk
dc.description.abstractukПроведено опис роботи лазерного еліпсометричного мікроскопа ЛЭМ-3 для контролю товщини тонких плівок. Показано, що еліпсометричні методи контролю дозволяють вимірювати товщини та коефіцієнти заломлення тонких прозорих діелектричних плівок у діапазоні товщин від 0,3 нм до 1500 нм (0,0003-1,5 мкм) з похибкою вимірювання ±0,3 нм.uk
dc.format.pagerangeС. 88-91uk
dc.identifier.citationЮшко А. В. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом / А. В. Юшко, М. А. Зенкін // Технологія і техніка друкарства : збірник наукових праць. – 2010. – Вип. 4(30). – С. 88–91. – Бібліогр.: 3 назви.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/5707
dc.language.isoukuk
dc.publisherВПІ НТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceТехнологія і техніка друкарства: збірник наукових працьuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subject.udc621.326.7uk
dc.titleКонтроль товщини тонких плівок еліпсометричним методомuk
dc.title.alternativeControl the thickness of thin films by ellipsometrical methoduk
dc.title.alternativeКонтроль толщины тонких пленок элипсометрическим методом
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
10_yushko_av_control_the.pdf
Розмір:
374.18 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Технологія і техніка друкарства: збірник наукових праць, Вип. 4(30)