Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВерцанова, Олена Вікторівна
dc.contributor.authorХарчук, Артур Анатолійович
dc.date.accessioned2025-07-24T07:08:49Z
dc.date.available2025-07-24T07:08:49Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractОб’єкт дослідження – електронна мікроскопія як інструмент вивчення наноструктур. Предмет дослідження – нанорозмірні структури в мікро- та наноелектроніці. Мета роботи – проаналізувати основні методи електронної мікроскопії, зокрема СЕМ і ТЕМ, для дослідження наноструктур; вивчити їх переваги, застосування та порівняти з іншими методами аналізу; ознайомитись з реальними прикладами застосування в напівпровідниковій та епітаксійній технологіях. У роботі проведено системний аналіз сучасних методів дослідження наноматеріалів, окреслено роль електронної мікроскопії як одного з найбільш ефективних способів візуалізації структур на атомному рівні. Детально розглянуто принципи роботи, будову, режими візуалізації скануючої (SEM) та трансмісійної (TEM) електронної мікроскопії. Наведено приклади аналізу квантових точок, нанодротів, тонких плівок, а також підповерхневих дефектів у напівпровідникових матеріалах. Проаналізовано перспективні напрямки розвитку електронної мікроскопії, зокрема 3D-реконструкцію, машинне навчання та кріо-ЕМ.
dc.description.abstractotherThe object of the research is electron microscopy as a tool for studying nanostructures. The subject of the research is nanoscale structures in micro- and nanoelectronics. The purpose of the work is to analyze the main methods of electron microscopy, in particular SEM and TEM, for the study of nanostructures; to study their advantages, applications and compare them with other methods of analysis; to get acquainted with real examples of application in semiconductor and epitaxial technologies. The work provides a systematic analysis of modern methods for studying nanomaterials, outlines the role of electron microscopy as one of the most effective ways to visualize structures at the atomic level. The principles of operation, structure, and visualization modes of scanning (SEM) and transmission (TEM) electron microscopy are considered in detail. Examples of the analysis of quantum dots, nanowires, thin films, as well as subsurface defects in semiconductor materials are given. Promising directions of development of electron microscopy, in particular 3D reconstruction, machine learning and cryo-EM, are analyzed.
dc.format.extent43 с.
dc.identifier.citationХарчук, А. А. Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Харчук Артур Анатолійович. – Київ, 2025. – 43 с.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/75201
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.subjectелектронна мікроскопія
dc.subjectскануюча електронна мікроскопія
dc.subjectтрансмісійна електронна мікроскопія
dc.subjectнаноструктура
dc.subjectквантова точка
dc.subjectнанодріт
dc.subjectGaN
dc.subjectметоди аналізу наноматеріалів
dc.subjectдефекти кристалу
dc.subjectelectron microscopy
dc.subjectscanning electron microscopy
dc.subjecttransmission electron microscopy
dc.subjectnanostructure
dc.subjectquantum dot
dc.subjectnanowire
dc.subjectmethods of analysis of nanomaterials
dc.subjectcrystal defects
dc.titleЕлектронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур
dc.typeBachelor Thesis

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Kharchuk_bakalavr.pdf
Розмір:
782.83 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи