Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для тривимірних наноструктур

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВерцанова, Олена Вікторівна
dc.contributor.authorШумська, Ольга Ігорівна
dc.date.accessioned2024-06-27T08:28:52Z
dc.date.available2024-06-27T08:28:52Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractДипломна робота присвячена дослідженню виготовлення тривимірних наноструктур за допомогою мікроскопа зі сфокусованим йонним пучком. Актуальність вивчення мікроскопу зі сфокусованим йонним пучком визначається його широким спектром методів створення тривимірних наноструктур, які мають велике значення для розвитку підбору параметрів для створення бажаних тривимірних наноструктур. Метою даної роботи є розгляд методів виробництва тривимірних наноструктур, зокрема за допомогою мікроскопу із сфокусованим іонним пучком. Дослідження та оцінка методів виробництва за допомогою мікроскопу з іонним пучком. Дослідження методів моделювання тривимірних наноструктур створених за допомогою сфокусованого іонного пучка. В ході роботи було здійснено створення програми моделювання осадження на основі методу неперервного клітинного автомата, та перевірка основних елементів програми з допомогою значень спеціально підібраних, щоб наочно продемонструвати роботу таких елементів.
dc.description.abstractotherThe thesis is devoted to the study of the fabrication of three-dimensional nanostructures using a microscope with a focused ion beam. The relevance of studying a microscope with a focused ion beam is determined by its wide range of methods for creating three-dimensional nanostructures, which are of great importance for the development of microelectronics. Which makes modeling methods important for selecting the parameters to create the desired three-dimensional nanostructures. The aim of this thesis is to consider methods of producing three-dimensional nanostructures, in particular with the help of a microscope with focused ion beam. Research and evaluation methods of fabrication using an focused ion beam. Study of modeling methods of three-dimensional nanostructures created using a focused ion beam. In the course of the work, the creation of a deposition modeling program based on the continuous cellular automaton method was carried out, and the main elements of the program were checked using specially selected values to clearly demonstrate the operation of such elements.
dc.format.extent61 с.
dc.identifier.citationШумська, О. І. Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для тривимірних наноструктур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шумська Ольга Ігорівна. – Київ, 2024. – 61 с.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/67527
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.titleТехнологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для тривимірних наноструктур
dc.typeBachelor Thesis

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Shumska_bakalavr.pdf
Розмір:
1.32 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи