Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі
Вантажиться...
Файли
Дата
2014
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
наноструктура, функціональне покриття, діелектрична поверхня, термовакуумне випаровування, атомно-силова мікроскопія, nanostructure, functional coverage, dielectric surface, thermal and vacuum evaporation, atomic-force microscopy, функциональное покрытие, диэлектрическая поверхность, термовакуумное испарение, атомно-силовая микроскопия
Бібліографічний опис
Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі / Антонюк В. С., Храпатий С. В., Білокінь С. О., Андрієнко В. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2014. – № 1(70). – С. 31–35. – Бібліогр.: 9 назв.