Methods of self-indication of temperature in MEMS sensors
Вантажиться...
Дата
2026
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
The paper analyzes modern approaches to measuring the temperature of MEMS sensors, their advantages and disadvantages. The limitations of traditional methods with external sensors, caused by thermal delays and gradients, are shown. Methods of temperature self-indication based on the internal parameters of the sensor (resonant frequency, amplitude, automatic gain control (AGC) signals) are considered. The prospects of using the difference frequencies of multimode resonators and AGC signals are substantiated. A combined approach is proposed that increases sensitivity, reduces the influence of noise and hysteresis, and increases reliability due to channel redundancy. Key difficulties are identified: calibration, synchronization, and harmonic suppression.
Опис
Ключові слова
MEMS sensors, temperature self-indication, thermal compensation, resonant frequency, ARP
Бібліографічний опис
Feoklistov, D. Methods of self-indication of temperature in MEMS sensors / Feoklistov D., Bohdan H. // Приладобудування: стан і перспективи : збірник матеріалів XXV Міжнародної науково-технічної конференції, [Київ], 12-13 травня 2026 р. / КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Київ, 2026. – С. 244-245. – Бібліогр. 5 назв.