Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем
Вантажиться...
Дата
2017
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
МРС, тасітрон, імпульсна МРС, імпульсний режим живлення, magnetron sputtering system, tacitron, impulse magnetron sputtering system, pulsed mode, МРС, таситрон, импульсная МРС, импульсный режим питания
Бібліографічний опис
Горбенко, О. А. Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем / Горбенко О. А. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 20-26 березня 2017 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2017. – С. 229–231. – Бібліогр.: 10 назв.