Моделювання процесу росту тонких плівок GaAs
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Пояснювальна записка дипломної роботи за обсягом становить 53 сторінки, містить 26 рисунків. Для дослідження було використано 17 бібліографічних найменувань. Метою роботи є дослiдження стацiонарної задачi для моделювання процесiв росту тонких напiвпровiдникових плiвок, в особливостi GaAs; встановлення залежностi швидкостi росту вiд таких параметрiв як, швидкiсть нанесення, концентрація речовин, температура, тиск, та товщина. Встановити оптимальні параметри необхіді для отримання кращої якості плівки. Порівняти два запропонованих методи для подальшого вдосконалення технології. Предметом дослідження є набір параметрів системи робочого реактора, що визначаються для методів LP-MOCVD та PE-CVD. Виконане моделювання методів вирощування тонких плівок LP-MOCVD та PE-CVD за допомогою програмного забезпечення COMSOL Multuphysics. У ході аналізу результатів було з’ясовано, що дане моделювання є доцільним для використання в промисловості, оскільки отримані дані було верифіковано з реальнию установкою. Було досліджено параметри, значення яких дають найвищий показник швидкості росту плівки GaAs. Встановлено, що метод LP-MOCVD має обмежений діапазон температур, за яких буде досягатись найвище значення швидкості росту тонкої плівки. Аналіз результатів моделювання методів LP-MOCVD та PE-CVD допомагає зрозуміти взаємозв’язок між параметрами системи та швидкістю росту плівки. Це важлива інформація для покращення та оптимізації виробничих процесів, пов’язаних з депозицією плівок методами LP-MOCVD та PE-CVD.
Опис
Ключові слова
числове моделювання, тонкі плівки, хімічне осадження, кінетика, LP-MOCVD, PE-CVD, арсенід галію, сонячний елемент, numerical modeling, thin films, chemical deposition, kinetics, gallium arsenide, solar cell
Бібліографічний опис
Сіряк, Т. В. Моделювання процесу росту тонких плівок GaAs : дипломна робота ... бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Сіряк Тетяна Вікторівна. – Київ, 2023. – 53 с.