Структура та оптичні властивості плівок NiO
Вантажиться...
Дата
2023
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 71 сторінці, вона містить 4 розділи, 36 ілюстрацій, 7 таблиць і 40 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є плівки оксиду нікелю.
Предмет роботи – дослідження впливу параметрів вирощування плівок оксиду нікелю на їх характеристики.
Мета роботи – дослідження впливу параметрів вирощування плівок оксиду нікелю на їх характеристики.
В першому розділі подано огляд літератури, в якому наведена інформація про методи осадження плівок оксиду нікелю. Зосереджено увагу на методі магнетронного розпилення, його види та переваги використання.
В другому розділі роботи представлено аналіз результатів досліджень впливу параметрів осадження на властивості плівок оксиду нікелю, наведені графіки залежностей та таблиці з даними.
В третьому розділі описано технологію синтезу та методи дослідження зразків тонких плівок NiO.
У четвертому розділі представлено аналіз результатів дослідження впливу параметрів вирощування (тиску кисню в камері осадження та потужності магнетрону) на структуру та оптичні властивості тонких плівок NiO. Проведено дослідження властивостей зразків методами рентгеноструктурного (XRD) та елементного (EDX) аналізів, атомно-силової мікроскопії (АСМ), досліджено спектри пропускання, розраховано оптичну ширину забороненої зони.
Опис
Ключові слова
NiO, магнетронне розпилення, структура, оптичне пропускання, magnetron sputtering, structure, optical transmission
Бібліографічний опис
Ярмоленко, О. А. Структура та оптичні властивості плівок NiO : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ярмоленко Олександр Андрійович. – Київ, 2023. – 71 с.