Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Робота виконана на кафедрі фундаментальних дисциплін та прикладного
матеріалознавства Черкаського державного технологічного університету
Міністерства освіти і науки України
Ключові слова
тонкі плівки, якісні характеристики оптичних елементів, комбінована електронно-променева технологія, електронно-променева гармата, thin films, qualitative characteristics of optical elements, combined electron-beam technology, electron-beam gun, тонкие пленки, качественные характеристики оптических элементов, комбинированная электронно-лучевая технология, электронно-лучевая пушка
Бібліографічний опис
Коваленко, Ю. І. Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою : дис. … канд. техн. наук. : 05.03.07 – процеси фізико-технічної обробки / Коваленко Юрій Іванович. – Київ, 2021. – 181 с.