Фотолюмінесценція та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Роботу викладено на 49 сторінках, вона містить 2 розділи, 14 рисунків, 3 таблиці та 34 джерела у переліку посилань.
Об’єктом дослідження є леговані алюмінієм та азотом тонкі плівки ZnO.
Предмет роботи - фотолюмінесценція та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N.
Мета роботи – дослідити фотолюмінесценцію та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N для аналізу дефектів, які генеруються в плівці оксиду цинку при подвійному легуванні азотом та алюмінієм.
У першому розділі роботи було здійснено літературний огляд, в якому розглянуто особливості та різноманітність застосування тонких плівок ZnO для різноманітних практичних застосувань. Також було проведено порівняння властивостей легованих азотом (ZnO:N) та алюмінієм (ZnO:Al) плівок оксиду цинку. В огляді зосереджено увагу на таких методах дослідження як рентгенівська дифракція, фотолюмінесценція та раманівське розсіювання, що дозволяють вивчати структуру та оптичні властивості матеріалу. В другому розділі було описано магнетронну технологію осадження плівок ZnO:Al,N, описано методи їх дослідження та представлені результати досліджень властивостей отриманих плівок. Зокрема, було проведено аналіз елементного розподілу в матеріалі, вивчено його фотолюмінесценцію та раманівське розсіювання, проаналізовано типи дефектів. Ці дослідження
дозволили отримати необхідну інформацію про структуру та оптичні властивості плівок, яка є важливою для подальшого використання цих матеріалів у різних технологічних застосуваннях.
Опис
Ключові слова
оксид цинку, оксид цинку легований алюмінієм та азотом, фотолюмінесценція, раманівське розсіювання, ВЧ магнетронне розпилення, zinc oxide, zinc oxide alloyed with aluminum and nitrogen, photoluminescence, Raman scattering, radio frequency magnetron sputtering
Бібліографічний опис
Шакун, Д. О. Фотолюмінесценція та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шакун Денис Олександрович. – Київ, 2023. – 49 с.