Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorОрлов, Анатолій Тимофійович
dc.contributor.authorДудка, Михайло Юрійович
dc.date.accessioned2018-05-21T07:29:59Z
dc.date.available2018-05-21T07:29:59Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenThesis has done on 80 pages containing 4 chapters, 37 illustrations and 41 in the list of source references. The object of the thesis is investigation of the environment with using microelectronic sensors, manufactured with using micro-electro-mechanical system technology (MEMS) on silicon. The aim of the thesis is to develop a sensor block diagram of thermal parameters of gas environment on MEMS technology. A literature review has carried out, the main structure, the physical principles of sensors, the overview of NI ELVIS II platform of virtual laboratory instruments are performed in the first chapter. A review and analysis of traditional methods of measuring the steady-state and dynamic environments are performed in the second chapter. The third section is the experimental part of the thesis. A block diagram of the gas and liquids parameters measuring devices prospect creation and the measurement by the method of analysis of dynamic processes of heat transfer between the sensor fabricated by MEMS technology and environment are performed and presented in the third chapter. In the fourth section was presented the development of the project startup.uk
dc.description.abstractruРабота выполнена на 80 страницах, содержащих 4 главы, 37 иллюстрации и 41 источник в перечне ссылок. Объектом исследования в работе являются сенсоры теплофизических параметров газовой среды и жидкости, разработанные с использованием микроэлектронной технологии микро-электро-механических систем (МЭМС) на кремнии. Предметом исследования являются конструкции первичных терморезисторных преобразователей, физические принципы их функционированя, вторичные преобразователи к ним, реализованные с использованием платформы для разработки виртуальных лабораторных приборов NI ELVIS II в программной среде LabVIEW. Целью работы является разработка многофункционального сенсора теплофизических параметров газовой среды с использованием разработанных по технологии МЭМС первичных преобразователей и платформы для разработки виртуальных лабораторных приборов NI ELVIS II в программной среде LabVIEW . В первой главе приведен обзор литературы, анализ основных конструкций сенсоров, обзор платформы виртуальных лабораторных приборов NI ELVIS II. Во втором разделе проведен обзор и анализ физических принципов работы терморезисторных преобразователей с использованием методов стационарного и динамического разогрева измерения теплофизических параметров газових сред и жидкостей. В третьем разделе разработана структурная схема много-функционального виртуалного прибора для проведения измерений теплофизических параметров среды по методике статического и динамических теплообмена. В четвертом разделе представлена разработка стартап проекта.uk
dc.description.abstractukРобота виконана на 80 сторінках, що містять 4 розділи, 37 ілюстрації та 41 джерела в переліку посилань. Об'єктом дослідження в роботі є сенсори теплофізичних параметрів газового середовища або рідини, спроектовані за мікроелектронною технологією мікро-електро-механічних систем (МЕМС) на кремнії. Предметом дослідження є конструкції первинних терморезисторних перетворювачів, фізичні принципи їх функціонування, вторинні перетворювачі до них, реалізовані з використанням платформи для розробки віртуальныих лабораторних приладів NI ELVIS II в програмному середовищі LabVIEW. Метою роботи є розроботка багатофункціонального сенсору теплофізичних параметрів газового середовища та рідини з використанім спроектованих за технологією МЭМС первинних перетворювачів та платформи для розробки віртуальныих лабораторних приладів NI ELVIS II в програмному середовищі LabVIEW. У першому розділі проведено огляд літератури за темою роботи, аналіз основних конструкцій сенсорів, огляд платформи для розробки віртуальних лабораторних приладів NI ELVIS II. В другому разділі проведено огляд і аналіз фізичних принципів роботи терморезисторних перетворювачів з використанням методів стаціонарного і динамічного нагрівання для вимірювання теплофізичних параметрів газових середовищ та рідин. В третьому розділі розроблено структурну схему багато-функціонального віртуалного приладу для вимірювання теплофізичних параметрів середовища за методиками статичного і динамічного теплообміну. В четвертому розділі було представлено розробку стартап проекту.uk
dc.format.page80 с.uk
dc.identifier.citationДудка, М. Ю. Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дудка Михайло Юрійович. – Київ, 2018. – 80 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/22966
dc.language.isoruuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectсенсор газового потокаuk
dc.subjectМЭМСuk
dc.subjectтеплопроводностьuk
dc.subjectтеплоёмкостьuk
dc.subjectдатчик потоку газуuk
dc.subjectМЕМСuk
dc.subjectтеплопровідністьuk
dc.subjectтеплоємністьuk
dc.subjectgas flow sensoruk
dc.subjectMEMSuk
dc.subjectthermal conductivityuk
dc.subjectheat capacityuk
dc.titleСенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМСuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Dudka_magistr.pdf
Розмір:
5.34 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи