Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Робота виконана на 80 сторінках, що містять 4 розділи, 37 ілюстрації та 41 джерела в переліку посилань.
Об'єктом дослідження в роботі є сенсори теплофізичних параметрів газового середовища або рідини, спроектовані за мікроелектронною технологією мікро-електро-механічних систем (МЕМС) на кремнії.
Предметом дослідження є конструкції первинних терморезисторних перетворювачів, фізичні принципи їх функціонування, вторинні перетворювачі до них, реалізовані з використанням платформи для розробки віртуальныих лабораторних приладів NI ELVIS II в програмному середовищі LabVIEW.
Метою роботи є розроботка багатофункціонального сенсору теплофізичних параметрів газового середовища та рідини з використанім спроектованих за технологією МЭМС первинних перетворювачів та платформи для розробки віртуальныих лабораторних приладів NI ELVIS II в програмному середовищі LabVIEW.
У першому розділі проведено огляд літератури за темою роботи, аналіз основних конструкцій сенсорів, огляд платформи для розробки віртуальних лабораторних приладів NI ELVIS II.
В другому разділі проведено огляд і аналіз фізичних принципів роботи терморезисторних перетворювачів з використанням методів стаціонарного і динамічного нагрівання для вимірювання теплофізичних параметрів газових середовищ та рідин.
В третьому розділі розроблено структурну схему багато-функціонального віртуалного приладу для вимірювання теплофізичних параметрів середовища за методиками статичного і динамічного теплообміну.
В четвертому розділі було представлено розробку стартап проекту.
Опис
Ключові слова
сенсор газового потока, МЭМС, теплопроводность, теплоёмкость, датчик потоку газу, МЕМС, теплопровідність, теплоємність, gas flow sensor, MEMS, thermal conductivity, heat capacity
Бібліографічний опис
Дудка, М. Ю. Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дудка Михайло Юрійович. – Київ, 2018. – 80 с.