Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorБорисов, Олександр Васильович
dc.contributor.authorШмаровоз, Сергій Володимирович
dc.date.accessioned2021-07-08T13:58:57Z
dc.date.available2021-07-08T13:58:57Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractenThe work is set out on 66 pages, it contains 3 sections, 22__ illustrations, __2_ tables and 45 sources in the list of references. The object of the study is a micromechanical vector acoustic sensor in the low frequency range. Subject of work - acoustic, electrical, mechanical characteristics of acoustic sensors based on silicon structures. The purpose of the work is the analysis of measuring transformation and manufacturing technology and determination of characteristics of vector acoustic sensor of low frequency range based on silicon micromechanical structures. In the first section the parameters of the acoustic field and its characteristics are considered, modern receivers of acoustic signals are described, the analysis of methods of determination of sound intensity in the environment is carried out. The second section discusses the basics of MEMS technology and the basic design and technological principles of acoustic sensor development. The section describes the main technological processes - deep anisotropic chemical etching of monocrystalline silicon and other etching, photolithography method for creating three-dimensional sensor structures of the desired geometry, primary transducers (PP) based on MEMS technology, deeply and in detail analyzed microacoustic vector acoustic. The third section analyzes the experimental methods for determining the conversion characteristics and provides examples of the use of micromechanical vector acoustic sensor of low frequency range based on AVS sensors and AVISA, V-AMMS devices.uk
dc.description.abstractukРоботу викладено на 66 сторінках, вона містить 3 розділи, 22__ ілюстрацій, _2__ таблиці і 45 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону. Предмет роботи – акустичні, електричні, механічні характеристики акустичних сенсорів на основі кремнієвих структур. Мета роботи – аналіз вимірювального перетворення та технології виготовлення і визначення характеристик векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі кремнієвих мікромеханічних структур. В першому розділі розглянуто параметри акустичного поля та його характеристик, описано сучасні приймачі акустичних сигналів, проведенно аналіз методів визначення інтенсивності звуку в середовищі. В другому розділі роботи розглядаються основи МЕМС-технології та основні конструктивно-технологічні засади розробки акустичного сенсора. В розділі описано основні технологічні процеси – глибокого анізотропного хімічного травлення монокристалічного кремнію та інного травлення, метод фотолітографії при створенні тривимірних сенсорних структур потрібної геометрії, первинні перетворювачі (ПП) на основі МЕМС-технології, глибоко і детально проаналізоно векторний акустичний датчик Microflown. В третьом розділі проаналізовано експериментальні методики визначення характеристик перетворення та наводяться приклади застосування мікромеханічного векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі сенсорів АVS та приладів AVISA, V-AMMS.uk
dc.format.page66 с.uk
dc.identifier.citationШмаровоз, С. В. Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шмаровоз Сергій Володимирович. – Київ, 2021. – 66 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/42266
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.titleМікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазонуuk
dc.typeBachelor Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Shmarovoz_bakalavr.pdf
Розмір:
2.8 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи