Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
МДН-структура, критерій вибору діелектрика, high-k, діелектрик, питома ємність заслону, ефективний заряд в діелектрику, щільність поверхневих станів, міжвузловий аспект кристалічної решітки, MIS structure, insulator choosing criterion, high-k dielectric, specific gate capacitance, effective charge in the dielectric, surface charge density, interstitial aspect of crystalline lattice, МДП-структура, критерий выбора диэлектрика, диэлектрик, удельная емкость затвора, эффективный заряд в диэлектрике, плотность поверхностных состояний, межузловой аспект кристаллической решетки
Бібліографічний опис
Королевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 150 с.