Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorБорисов, Олександр Васильович
dc.contributor.authorКоролевич, Любомир Миколайович
dc.date.accessioned2021-09-17T12:13:31Z
dc.date.available2021-09-17T12:13:31Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractukДисертація присвячена розробці фізичних засад вибору діелектрика для МДНструктур з певною напівпровідниковою підкладкою та дослідженню плівок діоксиду церію як альтернативи плівкам діоксиду кремнію. Розроблено загальний критерій вибору діелектрика, в основу якого покладена мінімальна різниця щільності обірваних зв’язків на межі діелектрик-вакуум та на межі напівпровідник-вакуум. Розроблено новий метод опису кристалічної решітки та введено універсальний параметр – середня довжина зв’язку, який характеризує усереднену відстань між складовими кристалічної речовини. В роботі запропонована спрощена методика визначення щільності зарядів на межі діелектрик-напівпровідник за експериментальними вольт-фарадними характеристиками МДН-структур. Експериментально підтверджено можливість заміни діоксиду кремнію діоксидом церію в кремнієвих МДН-структурах.uk
dc.format.page150 с.uk
dc.identifier.citationКоролевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 150 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectМДН-структураuk
dc.subjectкритерій вибору діелектрикаuk
dc.subjecthigh-kuk
dc.subjectдіелектрикuk
dc.subjectпитома ємність заслонуuk
dc.subjectефективний заряд в діелектрикуuk
dc.subjectщільність поверхневих станівuk
dc.subjectміжвузловий аспект кристалічної решіткиuk
dc.subjectMIS structureuk
dc.subjectinsulator choosing criterionuk
dc.subjecthigh-k dielectricuk
dc.subjectspecific gate capacitanceuk
dc.subjecteffective charge in the dielectricuk
dc.subjectsurface charge densityuk
dc.subjectinterstitial aspect of crystalline latticeuk
dc.subjectМДП-структураuk
dc.subjectкритерий выбора диэлектрикаuk
dc.subjectдиэлектрикuk
dc.subjectудельная емкость затвораuk
dc.subjectэффективный заряд в диэлектрикеuk
dc.subjectплотность поверхностных состоянийuk
dc.subjectмежузловой аспект кристаллической решеткиuk
dc.subject.udc621.382uk
dc.titleОбґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структурuk
dc.typeThesis Doctoraluk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Korolevych_dys.pdf
Розмір:
5.43 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Дисертації (МЕ)
Дисертації (вільний доступ)