Сенсор на поверхневих акустичних хвилях

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2019-06

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Анотація

В даній роботі викладено 49 сторінок тексту. Містить 6 розділів, 9 ілюстрацій та 6 таблиць. В роботі проведений аналіз сенсорів на ПАХ. Принцип побудови чутливого елементу та його конструктивне виконання. В першому розділі розглянуто фізичні основи сенсорів на ПАХ. В другому – способи їх контролю. В третьому – сенсори сили на ПАХ. В четвертому – сенсори тиску на ПАХ. В п’ятому - сенсори прискорення на ПАХ. В шостому – сенсори електричної напруги на ПАХ. Також виявлені недоліки вже існуючих методів побудови та використання і запропоновані шляхи їх вирішення.

Опис

Ключові слова

Бібліографічний опис

Шафаренко, Ю. С. Сенсор на поверхневих акустичних хвилях : дипломна робота … бакалавра : 6.050801 Мікро- та наноелектроніка / Шафаренко Юрій Сергійович. – Київ, 2019. – 46 с.

DOI