Влияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структур
Вантажиться...
Дата
2019
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
тонкие пленки, оксид церия, МДП-структура, вольт-фарадные характеристики (ВФХ), система зарядов, эффективный заряд, поверхностный потенциал, тонкі плівки, оксид церію, МДН-структура, вольт-фарадні характеристики (ВФХ), система зарядів, ефективний заряд, thin films, cerium oxide, MIS-structure, capacitance-voltage characteristics (CV characteristics), charge system, effective charge
Бібліографічний опис
Королевич, Л. Н. Влияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структур / Королевич Л. Н., Борисов А. В., Максимчук Н. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 3(110). – С. 13–19. – Бібліогр.: 9 назв.