Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломну роботу виконано на 61 аркуші, вона містить перелік посилань на використані джерела з 48 найменувань. У роботі наведено 12 рисунків та 6 таблиць.
Метою роботи є аналіз існуючих систем віртуальної метрології для контролю якості напівпровідникових пластин. Аналіз безперервного контролю та його переваг, а також важливості адаптивного оновлення.
У цій роботі будуть розглянуті методи створення систем ВМ, методики та алгоритми які використовуються при їх створенні, такі як, наприклад, покрокова лінійна регресія, дерево рішень, GA з лінійної регресією, GA з опорної векторної регресією (SVR), PCA і KPCA. Також буде розглянуто підвищення продуктивності системи ВМ за допомогою безперервного контролю. В кінці, ми розглянемо використання адаптивного оновлення системи віртуальної метрології, та проаналізуємо його важливість.
У першому розділі дипломної роботи було розглянуто дослідження з використанням віртуальної метрології для контролю якості напівпровідникових пластин.
У другому розділі дипломної роботи було розглянуто поетапне створення системи віртуальної метрології, в котрій, до того ж, було покращено продуктивність шляхом використання безперервного контролю, та наглядне порівняння такої системи з системою без безперервного контролю.
У третьому розділі було представлено систему віртуальної метрології з адаптивним оновленням, присутні також пояснення чому адаптивне оновлення необхідне та як воно працює.
У четвертому розділі я проаналізував використання методу віртуальної метрології для контролю напівпровідникових пластин.
Опис
Ключові слова
віртуальна метрологія, безперервний контроль, контроль напівпровідникових пластин, адаптивне оновлення, control of semiconductor wafers, adaptive update, continuous control, virtual metrology
Бібліографічний опис
Войтенко, Б. О. Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Войтенко Богдан Олександрович. – Київ, 2021. – 60 с.