Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
віртуальна метрологія, безперервний контроль, контроль напівпровідникових пластин, адаптивне оновлення, control of semiconductor wafers, adaptive update, continuous control, virtual metrology
Бібліографічний опис
Войтенко, Б. О. Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Войтенко Богдан Олександрович. – Київ, 2021. – 60 с.