Технологія синтезу тонких плівок оксиду молібдену для кремнієвих гетероструктурних сонячних елементів
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Роботу викладено на 128 сторінках, вона містить 4 розділи, 102 ілюстрації, 10 таблиць і 36 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є тонкі плівки оксиду молібдену та гетероструктури на їх основі.
Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та оптичних характеристик синтезованих плівок оксиду молібдену на кремнієвих підкладках та сонячних елементів на їх базі.
Мета роботи – розробка технології синтезу тонких плівок оксиду молібдену для застосування їх в гетероструктурних кремнієвих фотоелектричних перетворювачах.
В першому розділі подано огляд літератури, в якому розглядається аналіз існуючих технологічних методів синтезу, структура та стехіометричний склад, електричні та оптичні властивості, електро- та фотохромний ефекти тонких плівок оксиду молібдену.
В другому розділі роботи проводився огляд областей використання тонких плівок оксиду молібдену.
В третьому розділі наводяться результати синтезу, дослідження поверхневої морфології, хімічного складу, оптичних та електричних характеристик, в залежності від наявності відпалу, типу підкладки та температури осадження плівки.
В четвертому розділі наводяться результати синтезу та дослідження, фотоелектричних, оптичних та електричних характеристик гетеропереходів на основі плівок оксиду молібдену, в залежності від наявності відпалу, типу підкладки та температури осадження плівки.
Опис
Ключові слова
тонкі плівки, оксид молібдену, гетероструктурні фотоелектричні перетворювачі, фотоелектричний ефект, фоточутливість, thin film, oxide molybdenum, heterostructure photovoltaic converters, photovoltaic effect, photosensitivity
Бібліографічний опис
Фільов, Р. Є. Технологія синтезу тонких плівок оксиду молібдену для кремнієвих гетероструктурних сонячних елементів : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Фільов Роман Євгенійович. – Київ, 2019. – 130 с.