Фотодіод на основі InSb з використанням імплантації іонів берилію
dc.contributor.advisor | Королевич, Любомир Миколайович | |
dc.contributor.author | Безручко, Марко Валерійович | |
dc.date.accessioned | 2019-08-22T15:03:38Z | |
dc.date.available | 2019-08-22T15:03:38Z | |
dc.date.issued | 2019-06 | |
dc.description.abstracten | The work is presented in 67 pages, it contains 3 sections, 59 illustrations, 6 tables and 19 sources in the list of references. The object of the study was a photosensitive element based on InSb formed with the implantation of beryllium ions. Subject of work - Voltage-ampere characteristics of a photosensitive element, distribution profile of implanted impurities The purpose of this work is to create a photo-sensitive element based on n-InSb, which operates at 77 K, and to improve its technological route. In the first information-analytical section of the work, brief information is provided on InSb-based detectors. The second section describes the main processes of the technological route. In the third section, the process of manufacturing a photodiode is being improved. | uk |
dc.description.abstractuk | Роботу викладено на 67 сторінках, вона містить 3 розділів, 59 ілюстрацій, 6 таблиці та 19 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження став фоточутливий елемент на основі InSb утворений з імплантацією іонів берилію. Предмет роботи – вольт-амперні характеристики фоточутливого елементу, профіль розподілу імплантованої домішки Метою даної роботи є створення фоточутливого елементу на основі n-InSb, який працює при 77 К, та удосконалення його технологічного маршруту. У першому інформаційно-аналітичному розділі роботи коротко надано відомості про детектори на основі InSb. У другому розділі викладена інформація про основні процеси технологічного маршруту. У третьому розділі удосконалюється процес виготовлення фотодіоду. | uk |
dc.format.page | 69 с. | uk |
dc.identifier.citation | Безручко, М. В. Фотодіод на основі InSb з використанням імплантації іонів берилію : дипломна робота … бакалавра : 6.050801 Мікро- та наноелектроніка / Безручко Марко Валерійович. – Київ, 2019. – 69 с. | uk |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/28845 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.title | Фотодіод на основі InSb з використанням імплантації іонів берилію | uk |
dc.type | Bachelor Thesis | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- Bezruchko_bakalavr.pdf
- Розмір:
- 3.78 MB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.06 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: