Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorЯкименко, Юрій Іванович
dc.contributor.authorСолощук, Богдан Павлович
dc.date.accessioned2023-03-01T09:12:20Z
dc.date.available2023-03-01T09:12:20Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractenThe master's dissertation is devoted to the topic of research of the main characteristics of ZnO:Al,N films grown under oxygen-poor conditions. The aim of the work is the analysis of thin films properties of zinc oxide doped with aluminum and nitrogen, deposited by the magnetron method under oxygen-poor conditions. The review of works devoted to co-doping of ZnO films with donor and acceptor impurities is presented. The main methods of thin film deposition and types of co-doping are described, with their advantages and disadvantages. The properties of ZnO:Al,N films that were grown at different nitrogen pressure in the deposition chamber and oxygen-poor conditions were analyzed. The results of optical and structural studies were analyzed and the results of experiments were discussed.uk
dc.description.abstractukМагістерська дисертація присвячена темі дослідження основних характеристик тонких плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень. Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм та азотом, осаджених магнетронним методом в умовах бідних на кисень. Представлено огляд робіт, присвячених спільному легуванню донорними та акцепторними домішками плівок ZnO. Описано типи співлегування та основні методи осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками. Проведено аналіз властивостей плівок ZnO:Al,N вирощених при різному тиску азоту в камері осадження та в умовах бідних на кисень. Було проаналізовано результати оптичних, структурних досліджень, а також обговорено результати дослідів.uk
dc.format.page62 с.uk
dc.identifier.citationСолощук, Б. П. Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Солощук Богдан Павлович. – Київ, 2022. – 62 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/53196
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectоксид цинкуuk
dc.subjectZnO:Al,Nuk
dc.subjectосадження тонких плівокuk
dc.subjectвисокочастотне магнетронне напиленняuk
dc.subjectспівлегуванняuk
dc.titleВластивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисеньuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Soloshchuk_magistr.pdf
Розмір:
1.31 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи