Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2022

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Магістерська дисертація присвячена темі дослідження основних характеристик тонких плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень. Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм та азотом, осаджених магнетронним методом в умовах бідних на кисень. Представлено огляд робіт, присвячених спільному легуванню донорними та акцепторними домішками плівок ZnO. Описано типи співлегування та основні методи осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками. Проведено аналіз властивостей плівок ZnO:Al,N вирощених при різному тиску азоту в камері осадження та в умовах бідних на кисень. Було проаналізовано результати оптичних, структурних досліджень, а також обговорено результати дослідів.

Опис

Ключові слова

оксид цинку, ZnO:Al,N, осадження тонких плівок, високочастотне магнетронне напилення, співлегування

Бібліографічний опис

Солощук, Б. П. Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Солощук Богдан Павлович. – Київ, 2022. – 62 с.

DOI