Вимірювання опору тонких плівок за допомогою еластичних контактів Fujitsu

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2021-05

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Опис

Ключові слова

опір, тонкі плівки, еластичні контакти

Бібліографічний опис

Морозова, І. В. Вимірювання опору тонких плівок за допомогою еластичних контактів Fujitsu / Морозова І. В., Божко К. М. // XХ Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 18 – 19 травня 2021 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021. – С. 97–98.

DOI