Вимірювання опору тонких плівок за допомогою еластичних контактів Fujitsu

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМорозова, І. В.
dc.contributor.authorБожко, К. М.
dc.date.accessioned2021-07-22T07:44:22Z
dc.date.available2021-07-22T07:44:22Z
dc.date.issued2021-05
dc.event.date2021-05-18uk
dc.event.placeм. Київ, Українаuk
dc.format.pagerangeC. 97-98uk
dc.identifier.citationМорозова, І. В. Вимірювання опору тонких плівок за допомогою еластичних контактів Fujitsu / Морозова І. В., Божко К. М. // XХ Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 18 – 19 травня 2021 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021. – С. 97–98.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/42619
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceXХ Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 18 – 19 травня 2021 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференціїuk
dc.subjectопірuk
dc.subjectтонкі плівкиuk
dc.subjectеластичні контактиuk
dc.subject.udc621.315.592, 539.2uk
dc.titleВимірювання опору тонких плівок за допомогою еластичних контактів Fujitsuuk
dc.title.event“Приладобудування: стан і перспективи”, XХ Міжнародна науково-технічна конференціяuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
PSP-XX_2021_p97-98.pdf
Розмір:
120.41 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 5. Аналітичне та екологічне приладобудування