Основи технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекцій
Вантажиться...
Файли
Дата
2022
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
мікросистемна техніка, наноелектромеханічні пристрої
Бібліографічний опис
Основи технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекцій [Електронний ресурс] : навч. посіб. для здобувачів ступеня бакалавра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» спеціальності 153 Мікро- та наносистемна техніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського ; уклад.: Ю. В. Діденко, Д. Д. Татарчук. – Електронні текстові дані (1 файл: 9,01 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – 113 с. – Назва з екрана.