Основи технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекцій

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДіденко, Юрій Вікторович
dc.contributor.authorТатарчук, Дмитро Дмитрович
dc.date.accessioned2022-06-13T10:24:41Z
dc.date.available2022-06-13T10:24:41Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractukУ посібнику розглянуто основні технологічні процеси виготовлення елементів мікросистемної техніки, а також наноелектромеханічних пристроїв. Окремо описані методи виготовлення нанорозмірних структур, які формують матеріали «зверху–униз» і «знизу–уверх». Посібник призначений для здобувачів ступеня бакалавра, які навчаються за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» спеціальності 153 Мікро- та наносистемна техніка, буде також корисним всім, хто цікавиться мікро- та наносистемною технікою.uk
dc.format.page113 с.uk
dc.identifier.citationОснови технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекцій [Електронний ресурс] : навч. посіб. для здобувачів ступеня бакалавра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» спеціальності 153 Мікро- та наносистемна техніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського ; уклад.: Ю. В. Діденко, Д. Д. Татарчук. – Електронні текстові дані (1 файл: 9,01 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – 113 с. – Назва з екрана.uk
dc.identifier.orcid0000-0001-7305-8519uk
dc.identifier.orcid0000-0003-1171-6701uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/47890
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectмікросистемна технікаuk
dc.subjectнаноелектромеханічні пристроїuk
dc.titleОснови технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекційuk
dc.typeMethodical Materialuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Osnovy.pdf
Розмір:
8.79 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Навчально-методичні матеріали (МЕ)