Integrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology
Вантажиться...
Дата
2025
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
rotation angle sensor, MEMS technology, calculation capacitor
Бібліографічний опис
Integrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology / Shevkun S. M., Kvasnikov V. P., Dobroliubova M. V., Statsenko O. V., Shevkun M. S. // XXІV Міжнародна науково-технічна конференція "Приладобудування: стан і перспективи", 13-14 травня 2025 р., м. Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2025. – С. 411-413. – Бібліогр. 4 назви.