Integrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorShevkun, S. M.
dc.contributor.authorKvasnikov, V. P.
dc.contributor.authorDobroliubova, M. V.
dc.contributor.authorStatsenko, O. V.
dc.contributor.authorShevkun, M. S.
dc.date.accessioned2025-09-16T11:35:14Z
dc.date.available2025-09-16T11:35:14Z
dc.date.issued2025
dc.format.pagerangeС. 411-413
dc.identifier.citationIntegrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology / Shevkun S. M., Kvasnikov V. P., Dobroliubova M. V., Statsenko O. V., Shevkun M. S. // XXІV Міжнародна науково-технічна конференція "Приладобудування: стан і перспективи", 13-14 травня 2025 р., м. Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2025. – С. 411-413. – Бібліогр. 4 назви.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/76077
dc.language.isoen
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.relation.ispartofХХІV Міжнародна науково-технічна конференція «Приладобудування: стан і перспективи», 13-14 травня 2025 р., Київ, Україна: збірник матеріалів конференції.
dc.subjectrotation angle sensor
dc.subjectMEMS technology
dc.subjectcalculation capacitor
dc.subject.udc629.05
dc.titleIntegrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
411-413.pdf
Розмір:
129.63 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Приладобудування: стан і перспективи (24 ; 2025 ; Київ)