(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2023) Турта, Данило Олексійович; Орлов, Андрій Костянтинович
Об’єкт досліджень: нанорозмірні тонкоплівкові композиції на основі Ni (30 нм)/Ti (30 нм) з проміжним шаром Ag (10 нм), осаджені на підкладинку Si (100) методом магнетронного розпорошення.
Предмет досліджень: вплив проміжного шару Ag на аморфізацію та структурнто-фазові перетворення в тонкоплівковій композиції Ni/Ag/Ti/Si.
Мета роботи: дослідити термічно-індуковані структурно-фазові перетворення при додаванні проміжного шару Ag (10 нм) в тонкоплівкових композиціях Ni/Ag/Ti/Si після відпалу в вакуумі (10-4 Па) за температури (300-700) C.
Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, вторинно іонна мас-спектрометрія.
Результати досліджень та їх новизна: отримані результати рентгеноструктурного аналізу та вторинно іоної мас-спектроскопії свідчать про можливе утворення інтерметалідної фази Ni3Ti або NiTi2. Також було виявлено, що проміжний шар Ag (10 нм) запобігає аморфізації границі розділу Ni/Ti у вихідному стані.
Сфери застосування: аерокосмічна, медична, мікроелектромеханічні системи.