Вплив додаткових шарів Ag на аморфізацію границь розділу та фазові перетворення в нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Ag/Ti

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2023

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Об’єкт досліджень: нанорозмірні тонкоплівкові композиції на основі Ni (30 нм)/Ti (30 нм) з проміжним шаром Ag (10 нм), осаджені на підкладинку Si (100) методом магнетронного розпорошення. Предмет досліджень: вплив проміжного шару Ag на аморфізацію та структурнто-фазові перетворення в тонкоплівковій композиції Ni/Ag/Ti/Si. Мета роботи: дослідити термічно-індуковані структурно-фазові перетворення при додаванні проміжного шару Ag (10 нм) в тонкоплівкових композиціях Ni/Ag/Ti/Si після відпалу в вакуумі (10-4 Па) за температури (300-700) C. Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, вторинно іонна мас-спектрометрія. Результати досліджень та їх новизна: отримані результати рентгеноструктурного аналізу та вторинно іоної мас-спектроскопії свідчать про можливе утворення інтерметалідної фази Ni3Ti або NiTi2. Також було виявлено, що проміжний шар Ag (10 нм) запобігає аморфізації границі розділу Ni/Ti у вихідному стані. Сфери застосування: аерокосмічна, медична, мікроелектромеханічні системи.

Опис

Ключові слова

аморфізація, сплави з пам’яттю форми, структурно-фазові перетворення, термічна обробка, тонкоплівкові композиції

Бібліографічний опис

Турта, Д. О. Вплив додаткових шарів Ag на аморфізацію границь розділу та фазові перетворення в нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Ag/Ti : дипломний проект ... бакалавра : 132 Матеріалознавство / Турта Данило Олексійович. – Київ, 2023. – 66 с.

DOI