Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки
Вантажиться...
Дата
2010
Автори
Кисіль, О. С.
Kysil, O. S.
Кисиль, О. С.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
йонне травлення, швидкість травлення, ion etching, etching speed, ионное травление, скорость травления
Бібліографічний опис
Кисіль, О. С. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки / О. С. Кисіль // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2010. – № 40. – С. 149–153. – Бібліогр.: 3 назви.