Доступ до документа закритий
Моделювання технології напівпровідникових матеріалів, приладів та інтегральних мікросхем – 1
Ескіз недоступний
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Оновлена версія: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/24860
Ключові слова
фазові рівноваги, фазовые равновесия, phase equilibra, діаграма стану, диаграмма состояния, state diagram, зонна плавка, зонная плавка, zone melting, епітаксія, эпитаксия, epitaxy, регулярний розчин, регулярный раствор, regular solution, примусове охолодження, принудительное охлаждение, forced cooling
Бібліографічний опис
Домбругов, М. Р. Моделювання технологій напівпровідникових матеріалів, приладів та інтегральних мікросхем – 1 [Електронний ресурс] : лабораторний практикум для студентів, які навчаються за спеціальністю 153 – «Мікро- та наносистемна техніка», спеціалізацією «Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої» / М. Р. Домбругов ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 738,35 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2018. – 51 с. – Назва з екрана.