https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22761| Title: | Моделювання технології напівпровідникових матеріалів, приладів та інтегральних мікросхем – 1 |
| Authors: | Домбругов, Михайло Ремович |
| Keywords: | фазові рівноваги фазовые равновесия phase equilibra діаграма стану диаграмма состояния state diagram зонна плавка зонная плавка zone melting епітаксія эпитаксия epitaxy регулярний розчин регулярный раствор regular solution примусове охолодження принудительное охлаждение forced cooling |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | КПІ ім. Ігоря Сікорського |
| Citation: | Домбругов, М. Р. Моделювання технологій напівпровідникових матеріалів, приладів та інтегральних мікросхем – 1 [Електронний ресурс] : лабораторний практикум для студентів, які навчаються за спеціальністю 153 – «Мікро- та наносистемна техніка», спеціалізацією «Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої» / М. Р. Домбругов ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 738,35 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2018. – 51 с. – Назва з екрана. |
| Description: | Оновлена версія: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/24860 |
| URI: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22761 |
| Appears in Collections: | Навчально-методичні матеріали (МЕ) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| lab-mod-tpm-2018-approved.pdf Restricted Access | Моделювання технології напівпровідникових матеріалів. Лаборатоний практикум. | 738.35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.