Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
сенсор газового потока, МЭМС, теплопроводность, теплоёмкость, датчик потоку газу, МЕМС, теплопровідність, теплоємність, gas flow sensor, MEMS, thermal conductivity, heat capacity
Бібліографічний опис
Дудка, М. Ю. Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дудка Михайло Юрійович. – Київ, 2018. – 80 с.