Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Лобода, Богдан Олексійович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
В роботі виконано літературний огляд, визначена актуальність дослідження, а також перспектива використання пористого кремнію. Виконано дослідження сенсорів H2O2 на основі МДН-транзисторів із шаром пористого кремнію і каталізаторами перекису водню (наночастинками платини та срібла) на зворотній стороні підкладки в області затвору. Модифікація зворотньої сторони сенсора виконана метал-стимульованим хімічним травленням. Було проведено аналіз пористої структури, вимірювання розміру наночастинок платини і срібла та їх впливу на чутливість сенсора. Виходячи з апроксимації отриманих вольтамперних характеристик при різних концентраціях перекису водню, розраховано чутливість сенсора перекису водню.
Складено технологічний маршрут з виробництва сенсорів перекису водню. Робота складається з 84 сторінок, 54 рисунків, 5 частин.
Опис
Ключові слова
пористий кремній, МДН-транзистор, пористість
Бібліографічний опис
Лобода, Б. О. Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лобода Богдан Олексійович. – Київ, 2018. – 88 с.