Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2018

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Анотація

В роботі виконано літературний огляд, визначена актуальність дослідження, а також перспектива використання пористого кремнію. Виконано дослідження сенсорів H2O2 на основі МДН-транзисторів із шаром пористого кремнію і каталізаторами перекису водню (наночастинками платини та срібла) на зворотній стороні підкладки в області затвору. Модифікація зворотньої сторони сенсора виконана метал-стимульованим хімічним травленням. Було проведено аналіз пористої структури, вимірювання розміру наночастинок платини і срібла та їх впливу на чутливість сенсора. Виходячи з апроксимації отриманих вольтамперних характеристик при різних концентраціях перекису водню, розраховано чутливість сенсора перекису водню. Складено технологічний маршрут з виробництва сенсорів перекису водню. Робота складається з 84 сторінок, 54 рисунків, 5 частин.

Опис

Ключові слова

пористий кремній, МДН-транзистор, пористість

Бібліографічний опис

Лобода, Б. О. Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лобода Богдан Олексійович. – Київ, 2018. – 88 с.

DOI