Метод прогнозування виходу придатних інтегральних мікросхем
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Зменшення технологічного процесу, збільшення кількості транзисторів та металевих міжз'єднань в високоінтегрованих мікросхемах у відповідності з законом Мура призводить до збільшення кількості параметрів, які необхідно контролювати. Це в свою чергу призводить до генерації великої кількості вимірюваних даних, обробка і аналіз яких є ключем до оптимізації і контролю технологічного процесу.
Контроль виходу придатних є надзвичайно важливою частиною мікроелектронної технології, оскільки від цього залежить як прямий економічний зиск від виробництва продукту, так і інші важливі економічні показники, такі як час для виходу на ринок та час валідації.
Предметом дослідження даної роботи є розробка спеціального програмного забезпечення для автоматичного моніторингу стану процесу в реальному часі. В роботі описано можливості типового промислового обладнання для проведення тестування мікросхем та їх використання.
Опис
Ключові слова
тестування мікросхем, автоматичне тестувальне обладнання, статистичний аналіз, vlsi testing, automatic test equipment, time dependent defect, big data
Бібліографічний опис
Васильєв, А. О. Метод прогнозування виходу придатних інтегральних мікросхем : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Васильєв Андрій Олегович. – Київ, 2018. – 93 с.