Дослідження електрофізичних властивостей МДН-структур за допомогою вольт-фарадних характеристик
Вантажиться...
Дата
2019-06
Автори
Самусь, Олександр Станіславович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломна робота виконана на 56 сторінках, вини містять 4 розділи, 26 ілюстрацій та 15 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є ВФХ МДН-структури. Предмет дослідження – порівняльний аналіз існуючих методів дослідження електрофізичний властивостей МДН-структури за допомогою ВФХ та розробка і удосконалення методів аналізу ВФХ.
Метою роботи є розкриття проблеми необхідності високоточного дослідження електрофізичних властивостей МДН-структури для вдосконалення приладів на іх основі.
У першому розділі досліджено протікання зарядів і процеси на границі поділу діелектрик-напівпровідник. У другому проведено аналіз класичного методу дослідження електрофізичних властивостей МДН-структури і експериментальне їх визначення. Третій розділ присвячений розгляду впливу поверхневих станів на ВФХ МДН-структури, а також розробка нового методя для знаходження напруги плоских зон за експериментальними кривими. В четвертому розділі проведено експеримент для підтвердження актуальності даного методу.
Опис
Ключові слова
МДН-структура, ВФХ, напруга плоских зон, C-V characteristics, MIS-structure
Бібліографічний опис
Самусь, О. С. Дослідження електрофізичних властивостей МДН-структур за допомогою вольт-фарадних характеристик : дипломна робота … бакалавра : 6.050801 Мікро- та наноелектроніка / Самусь Олександр Станіславович. – Київ, 2019. – 58 с.