Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6 нм)/Siеп/Si(001) при відпалах
Вантажиться...
Дата
2019-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська дисертація: 92 с., 17 табл., 35 рис., 44 джерел
Обʼєкт дослідження – фазові та структурні перетворення та термічна стабільність нанорозмірних плівкових композицій Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001).
Предмет дослідження – процеси структурно-фазових перетворень та упорядкування у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001).
Мета дослідження – дослідження фазового складу та термічної стабільності моносиліциду NiSi у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах у вакуумі та азоті.
Методи дослідження – рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних нейтралей, резистометрія, просвічуюча електронна мікроскопія поперечних перерізів, розрахунок термічних напружень і енергії фаз Гібса.
Результати дослідження та їх новизна: встановлено, що додавання платини зменшує рівень стискаючих механічних напружень у плівці нікелю, що призводить до підвищення температури формування моносиліциду нікелю при подальших відпалах у вакуумі та азоті. Формування потрійної сполуки при відпалі у вакуумі відбувається при вищій температурі (870 К), ніж при відпалі в азоті. Силіцид Ni(Pt)Si залишається стабільним до температури 1170 К, що на 50 К вище, ніж при відпалі в азоті та на 100 К вище, ніж в плівковій композиції Ni(30нм)/Si(001). Це підтверджується низькими значеннями електроопору.
Опис
Ключові слова
моносіліцид нікелю, нанорозмірні плівкові композиції, структурно-фазові перетворення, нікель, платина, nickel monosilicide, nanosize films, phase and structure transformations, nickel, platinum
Бібліографічний опис
Яцун, В. І. Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Яцун Віталій Ігорович. – Київ, 2019. – 92 с.