Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломна робота присвячена аналізу тонкоплівкого ємісного сенсора тиску та методів зменшення масогабаритних розмірів ємнісних сенсорів тиску та підвищення їх механічних та фізико-електричних характеристик.
У роботі проведено детальний аналіз сучасних сенсорів тиску Представлені способи використані у тонкоплівкоплівкому ємнісному сенорі тиску для зменшення розмірів та покращення характеристик. Проаналізована перспективність використання обраного сенсора у сферах діяльності з урахуванням особливостей та переваг даного типу датчиків тиску.
Опис
Ключові слова
тонкоплівкий, тонкі плівки, ємнісний сенсор тиску, датчик тиску, зменшення розмірів, size reduction, thin-film sensors, thin films, capacitive pressure sensor, pressure sensor
Бібліографічний опис
Постнов, Я. О. Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Постнов Ян Олегович. – Київ, 2020. – 63 с.