Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2020

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Дипломна робота присвячена аналізу тонкоплівкого ємісного сенсора тиску та методів зменшення масогабаритних розмірів ємнісних сенсорів тиску та підвищення їх механічних та фізико-електричних характеристик. У роботі проведено детальний аналіз сучасних сенсорів тиску Представлені способи використані у тонкоплівкоплівкому ємнісному сенорі тиску для зменшення розмірів та покращення характеристик. Проаналізована перспективність використання обраного сенсора у сферах діяльності з урахуванням особливостей та переваг даного типу датчиків тиску.

Опис

Ключові слова

тонкоплівкий, тонкі плівки, ємнісний сенсор тиску, датчик тиску, зменшення розмірів, size reduction, thin-film sensors, thin films, capacitive pressure sensor, pressure sensor

Бібліографічний опис

Постнов, Я. О. Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Постнов Ян Олегович. – Київ, 2020. – 63 с.

DOI