Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
тонкоплівкий, тонкі плівки, ємнісний сенсор тиску, датчик тиску, зменшення розмірів, size reduction, thin-film sensors, thin films, capacitive pressure sensor, pressure sensor
Бібліографічний опис
Постнов, Я. О. Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Постнов Ян Олегович. – Київ, 2020. – 63 с.