Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001)
Вантажиться...
Дата
2008
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Павлова, О. П. Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001) / О. П. Павлова // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 5(61). – С. 73–77. – Бібліогр.: 16 назв.