Сенсор на основі фотодіоду з InSb для середнього ІЧ діапазону
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Безручко, Марко Валерійович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
фотодіод, антимонід індію, іонна імплантація, фоточутливий елемент, анодне окиснення, пасивація поверхні, InSb, surface passivation, photodiode, indium antimonide, ion implantation, photosensitive element, anode oxidation
Бібліографічний опис
Безручко, М. В. Сенсор на основі фотодіоду з InSb для середнього ІЧ діапазону : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Безручко Марко Валерійович. – Київ, 2020. – 84 с.