Розмірний ефект в тонких резистивних металевих плівках
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на сторінках, вона містить 3 розділи, 13 ілюстрацій та 28 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є тонка резистивна плівка n-PbTe на слюдяних та ситалових підкладках.
Предметом дослідження є електричні параметри, теоретичні та експериментальні залежності резистивних плівок.
Мета роботи – аналіз підходів до опису тонких резистивних металевих плівок, виведення теоретичних співвідношень для опису електричних параметрів плівок, порівняння з експериментальними даними.
В першому розділі проведено аналіз наукових джерел, які розкривають поняття розмірного ефекту в тонких резистивних металевих плівках, надано класифікацію розмірних ефектів. Також класифіковано тонкі плівки за їх властивостями та в залежності від способів їх виготовлення.
В другому розділі представлені моделі опису резистивних плівок, представлено скорочені формули для розрахунку електричних параметрів. Надано стислий опис стосовно проведення експериментальних досліджень для виміру параметрів.
В третьому розділі по обраній моделі плівки виведено співвідношення що описують електричні параметри та побудовано ряд кривих: теоретичних та практичних.
Опис
Ключові слова
розмірний ефект, резистивна плівка, модель Фукса, модель Матісена–Шаткеса, Fuch model, Matisen-Shatkes model, size effect, resistive film
Бібліографічний опис
Єлізарова, В. Ю. Розмірний ефект в тонких резистивних металевих плівках : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Єлізарова Валерія Юріївна. – Київ, 2021. – 48 с.